FLEXI-FLOW紧凑型FF-M10和FF-M11紧凑型质量流量/压力计适用于在真空和17bar(a)之间的工作压力下测量0 500 mln/min和0 20 ln/min之间的流量范围。该仪器结合了基于毛细管MEMS技术的快速稳定的热质量流量传感器和精确可靠的旁路结构。由于独特的TCS技术(通过芯片传感器),建立了与温度和管路压力变化无关的精确质量流量测量。结合集成的温度和上下游压力传感器,22种气体的嵌入式数据库可实现准确的车载转换。多参数仪表为用户提供有用的过程信息:
-型号FF-M10:流量+温度
-型号FF-M11:流量+温度+上下游压力
性能特点压力范围:FF-M10:不可用/FF-M11:0 17 bar(a)
精度(包括线性度)(基于实际校准):高达 0,5%Rdplus 0,1%FS(N2/空气/O2);
对于其他气体,增加转换不确定性;
重复性:
流量传感器: 0,2%Rd;
压力传感器: 0,2%FS
减速比:高达1:1000
工作压力:max.16 bar g
22种独特气体以及这些气体的任何混合物的多气体/多量程嵌入式气体数据
响应时间(传感器): 30 ms(T63)
3年内长期稳定性: 0,5%FS;则每年 0,2%FS
安装任何:位置,姿态灵敏度可忽略不计
温度灵敏度流量传感器:零00015%FS/ C;量程0,03%Rd/ C;
压力传感器:零0,16 mbar/ C;量程0,05%Rd/ C
温度精度: 0,2 C(仪器本体温度)
精度压力传感器: 0,5%FS
压力敏感度标准: 0,15%Rd/bar典型N2;
压力校正: 0.02%Rd典型N2
泄漏完整性,外侧测试: 2 x 10-9mbar l/s He
机械部分
仪表本体:铝或不锈钢(可选)
材料(湿部件):铝、不锈钢、氮化硅、环氧树脂、氧化铝、玻璃
表面质量: 1.6 Ra(不锈钢阀体 0.8 Ra)
压力等级(PN):16 bar(g)/250 psig
工艺连接可选:压缩式、推入式或端面密封联轴器
密封件默认值:FKM 51415;
其他材料:请联系工厂
重量:200 g,铝阀体,300 g,不锈钢316阀体
防护等级:IP40
电气特性
电源:24 Vdc 10%
功耗:max.0,35瓦
数字通信:Modbus RTU或FLOW-BUS(可选)
支持USB-C接口,便于设置;
用于监控的可选蓝牙连接
电气连接:9针D-sub(公头)
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