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HORIBA反应器维修
浏览次数:274      发布于:2023-05-11
HORIBA通过遍布**的运营公司,提供面向多个行业的广泛的仪器和系统,其中包括汽车研发、过程和环境监测、体外医疗诊断、半导体生产与计量以及多种科学研发与质控测量。HORIBA出类拔萃的质量和值得信赖的性能,赢得了客户的广泛的信赖。我们在 新奇 有趣 这个别具一格的企业哲学的指引下,通过提供科学进深圳市华联欧国际贸易有限公司长期致力于工业自动化行业一站式服务平台的建设,为广大用户朋友们提供方便快捷的欧洲工业备品备件采购服务。向用户提供全面的产品和解决方案服务、全方位的供应链服务以及全球化和本地化服务,致力于成为欧美工业自动化领域用户长期的产品应用顾问和供应链伙伴。无论是采购任何欧美工业品备件,深圳华联欧公司都可以为用户提供一站式贴心服务。下述文章将为您揭晓《HORIBA反应器维修》等内容,接下来我们一起去看看吧! HORIBA通过遍布**的运营公司,提供面向多个行业的广泛的仪器和系统,其中包括汽车研发、过程和环境监测、体外医疗诊断、半导体生产与计量以及多种科学研发与质控测量。HORIBA出类拔萃的质量和值得信赖的性能,赢得了客户的广泛的信赖。

我们在 新奇 有趣 这个别具一格的企业哲学的指引下,通过提供科学进步所需的**产品,履行我们的社会责任 尤其是在保护健康、**和环境方面。遍布**每个角落的 HORIBA人 ,期待着与您合作,为您提供满足需求的*佳分析解决方案。

HORIBA提供多种自动注入装置,**、可靠的传输液体到任何端点。针对半导体工艺挑剔的要求,HORIB提供的产品中需要接触液体的零部件全部采用不锈钢材料,以达到高性能的表现效果。HORIBA的直接注入式汽化器可传输TEOS、TEB、TEPO。针对光刻、扩散工艺中用到的强腐蚀性材料,FDM系统选用抗腐蚀非金属材料,保证工艺系统的寿命及**。FDM可传输液体PCL3或BBr3至HORIBA先进的温度补偿鼓泡装置装置VM系列。

HORIBA荣获液体传输系列大奖(FDM系列),此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统,实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。

FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程,同样可以用于BBr3的扩散制程,减少运输和人力成本,提高**性。

規格

1.提高产能

VM系列(汽化传输系统)无需使用传统的石英鼓泡器更换,实现*小化停机时间,有效提供产能。

2.减少运营成本

FDM系列可减少POCL3消耗:每公斤可降低30*的价格

依赖于持续工作,实现超过99.8*的正常运营时间

减少POCL3浪费

更长的寿命,更低的维护成本,系统内部工艺流程无需暴露于周围环境

3.提高工艺稳定

VM系列一直将液位保持 High 状态,使整个工艺流程相比较石英鼓泡系统更为稳定

由于鼓泡装置的持续注入,液位将不会受到影响

无鼓泡装置需更换,避免操作失误

无环境温度的影响

薄层电阻相较于传统鼓泡装置更为稳定,再现性更出色

4.提升**性

无石英材料。VM系列将由PFD材质构建。相较于石英材料,PFD更为坚固,无需替换

无需定期更换parts,减少人工操作失误

POCL3将从20L的不锈钢瓶传输控制至PFA管路

坚固、无泄漏的鼓泡外壳与厂务端链接排气

集成液体泄漏,气体泄漏监测装置

湿线清理与泄漏自动监测

5.提高可靠性

POCL3是一款亲水性强可产生磷酸导致腐蚀或结晶的液体。常规的鼓泡系统需要定期更换会导致提升与空气接触的可能性。HORIBA POCL3的自动注入系统不需要定期更换鼓泡系统,有效降低了POCL3管道与空气接触的可能性。

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