光学干涉仪是一种基于光学原理的、利用干涉现象来测量形状和尺寸的高精度仪器。它的应用领域非常广泛，包括机械加工、航空制造、电子设备等领域。

1.光路结构

光学干涉仪通常由光源、分束器、反射镜或透镜组成。经过无数次反射和折射后，两束相互垂直的平行光线在被重新合并之前会发生相位差，并通过检测器判断偏移程度。

2.常见类型

常见的光学干涉仪有：Fizeau干涉仪，Michelson干涉仪和Mach-Zehnder干涉。Fizeau干涉法可用于替代显微镜作为表面形貌检测手段；Michelson干涉法可以被用作双臂悬挂式Gravitational-Wave探测器中；Mach-Zehnder系统可以精确地测试材料折射率及其变化率。

3.应用场景

《车间实践》（WorkshopPractice）音速喷管版型制造：

该例展示了如何使用Michelson/Fabry-Pérot气膜干涉仪验证器的光学测量特点，以便在制造高度精确的喷嘴版本时得到实验室质量控制。

《超声传感最佳化》（UltrasonicsSensingOptimization）：

该文阐述了如何通过模拟和实验研究加速Fizeau干涉仪中响应距离与孔径之间关系。

4.技术趋势

随着科技不断发展，先进的数字信号处理技术已经被广泛应用于光学干涉仪中。这些新技术可以大大提高检测灵敏度和精确度，并且可以在更高级别上进行数字分析。

5.结论

作为一种非常重要、普遍使用的光学工具，光学干涉仪将持续受到广泛关注和发展。未来，在人工智能及物联网等领域迅速发展下，在设备稳定性、数据可靠性及准确度方面有所改善是十分必要且值得期待的趋势。