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涡轮分子泵(高速排气精密流量计量设备的首选)
浏览次数:469      发布于:2023-06-20


涡轮分子泵是一种常用于工业自动化中的大气流体处理设备。它不同于传统的压缩机或排放系统,其采用高速旋转涡轮叶片和静止腔体之间相互作用的方式来产生真空。

节点一:涡轮分子泵的原理

涡轮分子泵通过高速旋转叶片运动,在固定法向金属导板(固定极)上空激发出共振离散气体分子,形成一个能量较小但具有方向性、密度可控且无交错反应等特点的永磁场约束并输送被抽减物质,从而将容器内部低压区域迅速升级到前级波段,并以此为基础在整个过程中维持压力均衡。

节点二:涡轮分子泵与其他真空设备对比

相比其他对真空进行抽取和处理的设备,如油封式/干式机械增压器、根式鼓风机等,涡轮分子泵具有更广阔适应范围,更稳定且健康长寿命及效率更高,非常适合航天科学实验、半导体生产、手术室、水下探测器等高精领域内应用。

节点三:涡轮分子泵的优点

涡轮分子泵可以在空气压力范围为1×10^-3Pa-133.33Pa之间工作,使其广泛适用于几乎所有真空类型,另外由于没有机械装置(除了旋转部件)而且不使用油和液体密封材料,所以能够增加操作寿命及远程控制方便性。

节点四:涡轮分子泵的品牌

目前全球主要从事设计与生产磁悬浮离心增压器和相关附件的公司有多家,其中包括Edwards(英国)、PfeifferVacuum(德国)和Leybold(Danaher集团旗下-美国),但是根据市场如今需求变化,罗格伍德(Rothenberger)推出了一种新型号DigiVacTURBO360®。这款产品具有16个可编程参数,并配备模块电路保护功能以提供全面的现代化解决方案。

节点五:涡轮分子泵在行业中的应用

常见行业里关键或利基领域对此类设备都大量采用涡轮分子泵,例如航空及宇航、电视显示器结构和制造、生物学实验系统等高精度的科研项目。同时,在光谱仪、半导体设备和表面处理应用中,其低挥发性是一大优势,这些领域都需要能够控制气体流动且具有远程可操作性的准确真空压力工具来实现各种需求。


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