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ARZUFFI发电机 BDS-MF系列
名称:  ARZUFFI发电机 BDS-MF系列
型号:  ARZUFFI
品牌:  
产地:  意大利
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产品详情

  ARZUFFI发电机 BDS-MF系列

  Arzuffi BDS-MF是一款等离子发生器,其正弦输出电压为40 kHz,最大功率输出为5 kW或10 kW,专为PECVD等离子或等离子体激发而设计。

  该发生器能够提供高达10kW(5KW)至5000V的RMS输出。输出为两个对称电极的平衡型。

  典型的应用是大型工艺室的PECVD工艺。

  一个特点是内部输出的高压变压器,带有两个插座,以适应等离子体阻抗。

  该发生器设计用于现有机器上的即插即用安装。

  ARZUFFI发电机 BDS-MF系列参数:

 

BDS-MF5K

BDS-MF10K

输出功率

负载为2000欧姆负载时为5 kWatt

负载为2000欧姆负载时为10 kWatt

供电电压

3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ10A

(L1L2L3PE)

3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ18 A(L1L2L3PE)

尺寸

抽屉19英寸机架,4UI高度(177毫米)540毫米深度

抽屉19英寸机架,4UI高度(177毫米)540毫米深度

重量

20KG铝制容器

20KG铝制容器

冷却

空气冷却,高效散热器,该装置可在高达40°C的环境温度下工作

空气冷却,高效散热器,该装置可在高达40°C的环境温度下工作

输出电压

2000欧姆负载时,tap2上的电压高达5000V

2000欧姆负载时,tap2上的电压高达5000V

输出电流

TAP1上最高3.5 ATAP2上最高2.5A

TAP1上最高3.5 ATAP2上最高2.5A

输出连接器

2Fischer 105连接器上的平衡输出,用于RG214 / U同轴电缆

2Fischer 105连接器上的平衡输出,用于RG214 / U同轴电缆

等离子点火电压

大于5500 VRMS

大于5500 VRMS

电弧识别电路

过流一次回路,反应时间1微秒

过流一次回路,反应时间1微秒

接口

DB25连接器,模拟10V信号,24V数字

引脚排列,兼容ADVANCED ENERGY PEII©

RS232PROFIBUS 发生器(可选)

DB25连接器,模拟10V信号,24V数字

引脚排列,兼容ADVANCED ENERGY PEII©

RS232PROFIBUS 发生器(可选)

前面板

LCD显示2×40个字符

LCD显示2×40个字符

测量电路

RMS电压,RMS电流,负载上提供的有功功率

RMS电压,RMS电流,负载上提供的有功功率

调节电路

动力

动力

高压输出变压器

两个Tap1输出插座,用于1000欧姆负载,Tap2用于2000欧姆负载

两个Tap1输出插座,用于1000欧姆负载,Tap2用于2000欧姆负载

合规

EC可根据要求提供符合性声明

EC可根据要求提供符合性声明

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